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展示会出展ブースレポート

[SEMICON Japan 2013] 多目的型スピンコータ「Kシリーズ」 – 株式会社カナメックス

2013年12月5日

株式会社カナメックスはSEMICON Japan 2013にて、多目的型スピンコータ「Kシリーズ」を出展。
減圧チャンバーを搭載したスピンコータを紹介。