[第24回 ファインテック ジャパン] 低ストレスでワークを支持する非接触吸着盤「ノンコンタクト チャッキング」 – 株式会社タンケンシールセーコウ

株式会社タンケンシールセーコウは第24回 ファインテック ジャパンにて、低ストレスでワークを支持する非接触吸着盤「ノンコンタクト チャッキング」を出展。
薄板ガラスや極薄ウェーハを給気圧力と吸引圧力を組み合わせた非接触搬送ができる技術を紹介。