[SEMICON Japan 2014] シャトル搬送システム – 株式会社レクザム

2014年12月4日

株式会社レクザムはSEMICON Japan 2014にて、シャトル搬送システムを出展。
シャトル装置とリニアロボットを利用した、縦方向に多段設置が可能なウエハ搬送システムを紹介。